主要仪器设备
工艺设备 | ||
球磨机 | 包括滚磨机、行星球磨机、高能球磨机等。 | |
成型设备 | 压片机、冷等静压机等。 | |
烧结设备 | 箱式炉、管式炉、气氛烧结炉,热压烧结炉、微波烧结炉、高温升降炉等。 | |
多层器件制备设备 | 包括:流延机、丝网印刷机、热压、切割等。 | |
陶瓷加工设备 | 切片机、抛磨机以及钻孔机。 | |
薄膜制备 | 化学方法:溶胶-凝胶法 | 超净室(千级) |
物理方法:溅射法(直流和射频) | 溅射仪(3靶2英寸) | |
测试设备 | ||
主要包括粒度分析仪、热分析仪以及动态热机械分析仪等。 | ||
电学性能测试 | ||
铁电压电性能测试 | 主要包括:P-E、应变等测试;室温d33测试和原位温度d33测试;陶瓷样品介电温谱测试(包括两套测试系统:-150oC-150℃和室温-950℃);薄膜样品介电温谱测试(-150oC-300℃);阻抗特性测试(室温-800oC)。 | |
电卡效应测试系统 | 温度范围:-40℃-120℃。 | |
耐压测试系统 | 直到10万伏。 | |
充放电测试系统 | 室温-150℃。 |
热分析系统
德国TF Analyzer 2000E铁电分析仪
美国Radiant Technologies, Inc.铁电测试仪
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特色测试系统:
薄膜温谱(-150℃--350℃)、频谱、偏压测试系统
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电卡效应测试系统(-40℃-120℃)
原位温度d33测试仪(室温-750℃)
介电偏压测试系统
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